1:制備二氧化硅質(zhì)的凝膠
四種氯化硅水解制備硅膠,或?qū)⒂袡C(jī)硅化合物(如四甲氧基硅烷)水解生成硅膠,或通過氣相二氧化硅形成二氧化硅凝膠 。
2: 造粒過程
通過干燥兩種二氧化硅的凝膠,并成為干燥粉,在粉碎干燥粉末、分級(jí)并獲得預(yù)期的硅粉平均粒徑后。
3: 燒結(jié)工藝
造粒過程中得到的二氧化硅粉末在800℃~1450℃溫度下燒結(jié)。熱等離子體球化工藝用于將燒結(jié)過程中獲得的硅粉以預(yù)定的供給速率放入等離子焊炬中,該焊炬以預(yù)定的流速加入氬氣,并以預(yù)定的高頻輸出功率產(chǎn)生等離子體。氧化硅的沸點(diǎn)溫度被加熱融化了。
4: 清洗工藝
經(jīng)過上述球化處理后,去除附著在球化硅粉表面的微粉。
5: 干燥工藝
上述清洗工序后的硅粉干燥